国内多家晶圆厂KrF光刻胶供应紧张，部分产线面临断供危机

消息 半导体光刻胶是光刻过程的关键耗材，光刻胶的质量和性能对光刻工艺有着重要影响，因其技术壁垒高而长期被海外大厂所主导，是半导体国产化的一道大坎。目前全球光刻胶主要企业有日本合成橡胶（JSR）、东京应化（TOK）、住友化学、信越化学、陶氏化学等，占市场份额超过85%。

近日，通过多方信源获悉，由于日本信越化学KrF光刻胶产能不足等原因导致中国大陆多家晶圆厂KrF光刻胶供应紧张，部分中小晶圆厂KrF光刻胶甚至出现了断供，多家晶圆厂正在加速验证导入本土KrF光刻胶。

而信越化学之所以停止供货部分晶圆厂KrF光刻胶，与数月前日本福岛东部海域发生7.3级地震有莫大关联。据行业人士透露，由于地震原因，信越化学KrF光刻胶产线受到很大程度的破坏，至今尚未完全恢复生产，在产线受到影响和晶圆厂扩产等多方因素下，信越化学不得不停止向中国大陆几家晶圆厂供应KrF光刻胶。虽然东京应化填补了信越化学海外大部分缺失的KrF光刻胶产能，但目前仍存在不小的缺口，中国大陆多家晶圆厂正在加速验证导入本土厂商彤程新材子公司北京科华的KrF光刻胶。

国内多家晶圆厂KrF光刻胶供应紧张

早在今年2月中旬，就发布过“受地震影响信越化学光刻胶工厂停产”的报道，在当时福岛地震发生后，信越化学KrF光刻胶生产以及海外供货就受阻，当时下游代理商考虑配合运输与相关成本提高，调涨新合约报价。

只是出乎预料的是，信越化学受影响的KrF光刻胶产线至今尚未完全恢复生产，这一定程度上或与光刻胶产线受到污染有关。而在信越化学KrF光刻胶产线短期难以恢复的状况下，FAB厂客户都面临较大的缺货危机，要知道信越化学占据全球光刻胶市场份额超两成，其主要供应的KrF光刻胶占据不小的市场份额。

据行业人士透露，在信越化学KrF光刻胶产能出现供应短缺之后，部分海外客户产能需求由东京应化（TOK）填补了，但在中国大陆的晶圆厂客户仍面临不小的供应短缺问题。

行业周知，全球半导体光刻胶被日本JSR、TOK、住友化学、信越化学，以及美国陶氏化学所主导。JSR是现在全球最大的，技术是最领先的光刻胶龙头，Intel、三星和台积电都是JSR核心客户，I-line、KrF、ArF、EUV光刻胶产品全覆盖。TOK专注于做光刻胶及配套试剂，在G线、I线，KrF和ArF都有些市场份额。陶氏的光刻胶事业部已经并入杜邦，客户是Intel、IBM体系，但在大陆市场占有率不是很高。信越化学主要切入点就是从KrF和ArF开始，EUV光刻胶也在开发，在中国大陆有不少FAB厂客户。

上述行业人士还表示，由于KrF光刻胶产能受限以及全球晶圆厂积极扩产等原因，信越化学已经向中国大陆多家一线晶圆厂限制供货KrF光刻胶，且已通知更小规模晶圆厂停止供货KrF光刻胶，国内多家晶圆厂将会面临KrF光刻胶大缺货的处境。

北京科华加速验证导入

事实上，国内晶圆厂面临KrF光刻胶大缺货，除了信越化学KrF光刻胶产线供应出问题外，更大的原因在于，在日本福岛地震之前，KrF光刻胶的产能供应就较为紧张。据央视财经报道，今年年初以来半导体光刻胶供应极为短缺，以往企业每次采购的光刻胶量约在100kg，近期由于原材料短缺，每期只能采购到10kg-20kg，价格方面也随之水涨船高。其中，光刻胶关键材料稀释剂从4月份价格提高50%，这也进一步传导至光刻胶价格上涨。

再加之，由于全球晶圆代工产能不足，产能扩充一直在进行中，光刻胶市场需求也在保持稳定增长，但实际产能开出并没有与晶圆厂形成匹配。

今年以来，除了台积电、三星、英特尔、联电等晶圆厂积极扩产外，中芯国际、华虹宏力、广州粤芯等多家本土晶圆厂积极扩产和产能释放，这也就导致国内光刻胶需求量远大于本土产量，且差额逐年扩大，尤其是在高端KrF、ArF等半导体光刻胶。

然而，截至目前，国内能够批量供应KrF、ArF光刻胶的厂商却为数不多。根据SEMI数据，日本几大厂商在g线/i线、KrF、ArF胶市场中市占率分别为61%、80%、93%，而国内g线/i线自给率约为20%，KrF光刻胶的自给率不足5%，12寸硅片的ArF光刻胶目前尚无国内企业可以大规模生产。

其中，在国产半导体光刻胶厂商中，彤程新材控股子公司北京科华、晶瑞股份都已经量产g线/i线光刻胶，上海新阳投建的干法ArF光刻胶尚无实质进展，南大光电的ArF光刻胶已通过某一客户认证，晶瑞股份KrF光刻胶已经完成中试，正进入客户测试阶段，而彤程新材（北京科华）KrF光刻胶项目早已通过“国家02”验收，并从在去年就已经开始大量导入国内多家晶圆厂。

资料显示，北京科华成立于2004年，产品覆盖KrF (248nm)、l-line、G-line、紫外宽谱的光刻胶及配套试剂，是中芯国际、华润上华、杭州士兰、吉林华微电子、三安光电等行业顶尖客户的稳定合作伙伴。2020年，彤程新材多次受让北京科华股东所持有的股权后，并于今年2月25日实现对北京科华的控股和并表。随后彤程新材积极推进 “一体两翼”发展战略，加快电子化学品业务布局，并通过彤程电子投资5.7亿元在上海化学工业区建设1.1万吨面板和半导体高端光刻胶项目。

上述行业人士表示，彤程新材作为目前国内唯一一家能够供应KrF光刻胶的厂商，在信越化学发出停供通知后，国内多家晶圆厂正在加速验证彤程新材（北京科华）KrF光刻胶。目前，北京科华的KrF光刻胶正在快速起量导入客户，随着公司明年KrF光刻胶产能逐渐释放出来，将会加速覆盖国内多家FAB厂8+12英寸产线。（Arden）

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